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产品描述
B – A 皮拉尼 电容薄膜真空计
INFICON 公司生产的BCG 450 型B – A 皮拉尼电容薄膜真空计
将三种不同的规管综合在一个小型经济的规管中,测量过程
压强和基本压强从5×10-10 至 1500 毫巴(3.75 ×10-10 至1125
乇)。BCG 450 用于取代三种传感器(热离子,对流增强型
皮拉尼和真空开关),从而节省成本和宝贵的空间。
用户优越性
BCG 450 节省成本和设备空间,降低真空测量的安装与
设置的复杂性
10 乇以上的与气体类型无关的压强测量,对许多混合气体
提供更可靠的自锁控制
皮拉尼联锁保护热灯丝,防止过早烧毁
自动的高真空和大气压皮拉尼调整,无需操作人员干预
相对于大气压的差压测量免除了与大气压变化有关的不稳定性
传感元件容易更换,带机载校准数据保证数据的再现性
备有可选的图形显示器和现场总线接口
典型应用
半导体工艺,传送和自锁室的压强测量
工业镀膜
在低至超高真空范围中系统的一般真空测量和控制