手机版 |
产品分类 |
工业在线及过程控制仪器
ISH2000氢检漏仪
LDS3000氦和氢检漏仪
Protec® P3000氦气检漏仪
Protec® P3000XL氦气检漏仪
HLD5000冷媒检漏仪
Modul1000氦气检漏仪
UL1000FAB氦气检漏仪
UL1000氦气检漏仪
UL5000氦气检漏仪
测量/计量仪器
电容膜片真空计
CDG025D-X3
BPG402-S
BCG450
CDG045D
HPG400
CDG100D
PGD400
气体检测仪
Transpector 2气体分析系统
Transpector XPR3气体分析系统
Transpector CPM气体分析系统
SionTM射频放弧探测器
ADC100直流放弧探测器
FabGuardTM传感器整合分析系统
Quantus LP100低压气体光谱分析仪
Quantus HP100高压气体光谱分析仪
色谱仪
CMS5000在线监测系统
INFICON Micro GC Fusion微型气相色谱仪
质谱检测分析仪
残余气体分析仪(RGAs)
Hapsite ER便携式气质联用仪
测厚仪
XTC/3薄膜镀层控制仪
其他
D-TEK Select冷媒检漏仪
联系方式 |
产品系列
产品描述
SKY® 电 容 膜 片 真 空 计
CDG100D
INFICON SKY CDG100D 真空计是高精度总压强测量和控制的**选择. 为达到优异的半导体和等离子
过程要求的性能, 将 CDG100D 真空计的温度控制于100°C. 全量程范围从100 毫乇 至 1000 乇, 配有全
部常用的法兰型式和 fieldbus 接口, 和提供线性的 0 至 10 伏与气体类型无关的压强讯号. INFICON 电容
真空计采用超纯抗腐蚀的氧化铝陶瓷膜片. 陶瓷传感器的优点是讯号稳定性好, 从大气压恢复快, 预热时
间短和超长的使用寿命. INFICON CDG 是高质量, 成本效益好的压强传感器, 用于半导体, 等离子和各项
要求高的真空应用中.
优点
■ 低 CoO (拥有成本), 50% 快速预热, 能效高, 功耗低
■ 易整合于系统中, 宽量程范围, 法兰和接口, 标准型号带有两个设点
■ 简易的一键操作或遥控讯号调零指令, 零点偏离可调
■ 诊断端口用于快速检修和维护
■ 两年保用期, 采用先进的加热概念和传感器保护, 真空计使用寿命长
■ 由于**的讯号稳定性和可重复性, 即使在严酷的等离子应用条件下仍可长期使用,
无需重新校准
■ 承诺和标准: CE, EN, UL, SEMI, RoHS
用途
■ 刻蚀, PVD, CVD和其它半导体生产过程
■ 化学和腐蚀性高温过程
■ 需要真空计保护的常用薄膜和真空过程