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工业在线及过程控制仪器
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产品系列
产品描述
INFICON SKY CDG025D 电容膜片真空计属于高精度温度补偿型真空计, 在苛刻的生产环境中
具有稳定的性能. 先进的数字电子学提高真空计的性能和易于使用的特点, 如一键调零功能和设点
调整. 抗腐蚀性的超纯陶瓷传感器具有**的零点稳定性与预期数百万次压强周期包括大气冲击的
长使用寿命. 独特的传感器屏蔽 (**技术) 保护真空计防止过程污染. 坚固耐用的机械结构和数字
电子学加强了EMC 兼容性, 长期稳定性和温度补偿性. CDG025D 真空计为从电源接通后的快速
稳定与暴露大气压后快速恢复等特性设定了新的标准.
优点
■ 全刻度范围从 100 毫乇… 1000 乇
■ 电源接通后快速稳定
■ 暴露大气压后快速恢复
■ 抗腐蚀性陶瓷传感器
■ **的长期讯号稳定性
■ 温度补偿
■ 保护传感器防止污染
■ 一键调零功能
■ 宽范围电源
■ 两个设点
■ RS232接口
■ 符合清洁室条件
用途
在要求高的应用中用于精确和快速的压强测量:
■ 用于刻蚀, CVD, PVD, ALD 等半导体制造设备
■ 数据贮存和显示器制造设备
■ 工业真空设备
■ 一般高精度压强测量