手机版 |
产品分类 |
工业在线及过程控制仪器
ISH2000氢检漏仪
LDS3000氦和氢检漏仪
Protec® P3000氦气检漏仪
Protec® P3000XL氦气检漏仪
HLD5000冷媒检漏仪
Modul1000氦气检漏仪
UL1000FAB氦气检漏仪
UL1000氦气检漏仪
UL5000氦气检漏仪
气体检测仪
Transpector 2气体分析系统
Transpector XPR3气体分析系统
Transpector CPM气体分析系统
SionTM射频放弧探测器
ADC100直流放弧探测器
FabGuardTM传感器整合分析系统
Quantus LP100低压气体光谱分析仪
Quantus HP100高压气体光谱分析仪
测量/计量仪器
电容膜片真空计
CDG025D-X3
BPG402-S
BCG450
CDG045D
HPG400
CDG100D
PGD400
色谱仪
CMS5000在线监测系统
INFICON Micro GC Fusion微型气相色谱仪
质谱检测分析仪
残余气体分析仪(RGAs)
Hapsite ER便携式气质联用仪
其他
D-TEK Select冷媒检漏仪
测厚仪
XTC/3薄膜镀层控制仪
联系方式 |
产品系列
产品描述
简介
先进,实用的单层和多层镀膜速率控制
用于单层和多层镀膜工艺的薄膜镀层控制仪XTC/3
装备有ModeLock1**技术,提供验证的模式跳跃防止功能,可达到始终如一的镀膜质量. 使用XTC/3薄膜镀层控制仪,可高度精确地控制镀膜速率与膜层厚度, 具有能控制几乎任何膜层数量的能力,容易安装,和极高的可靠性,可确保高的生产率.
特 点 |
■ 有单膜层和多膜层型号
■ ModeLock**技术防止由于模式跳跃导致的膜厚误差
■ 支持INFICON Crystal 12™, CrystalSix®和双传感器自动晶体切换,用于**生产率
■ XTC/3M多膜层型号支持多至99个工艺过程, 999个膜层, 32个镀层, 2个传感器和两个源
■ XTC/3S单膜层型号支持多至9个镀层, 2个传感器和两个源
■ 易阅读的TFT LCD图形显示器
■ 为便于检索,可指定独特的和描述性的薄膜与过程名称
■ 有以太网连接件
■ 单独运行(无需计算机)或用PC运行的Windows®软件选件
■ INFICON XTC/2控制仪的即插即用更换件(限于XTC/2功能和指令组)
应用:
集成电路执照
光学镀膜
溅射镀膜
薄膜太阳能电池制造
OLED制造