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名 称：英福康（广州）真空仪器有限公司认 证：工商信息已核实
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产品简介
特征概览:
- 等离子体频率900M Hz， 光波长范围：190-890 纳米
- 易更换等离子体组件，低的运行维护费
- KF40或KF50 标准连接口
- 良好的探测精度*低至ppb级
- 宽工作压力范围：1乇至1个大气压，无需泵组
- 快速采样频率24赫兹
- 小巧，易安装
应用：
- 用于半导体，平板显示器及太阳能等行业PVD，CVD及刻蚀腔体检漏，气体组份比率及等离子体刻蚀终点探测（Endpoint）。
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