手机版 |
产品分类 |
工业在线及过程控制仪器
ISH2000氢检漏仪
LDS3000氦和氢检漏仪
Protec® P3000氦气检漏仪
Protec® P3000XL氦气检漏仪
HLD5000冷媒检漏仪
Modul1000氦气检漏仪
UL1000FAB氦气检漏仪
UL1000氦气检漏仪
UL5000氦气检漏仪
测量/计量仪器
电容膜片真空计
CDG025D-X3
BPG402-S
BCG450
CDG045D
HPG400
CDG100D
PGD400
气体检测仪
Transpector 2气体分析系统
Transpector XPR3气体分析系统
Transpector CPM气体分析系统
SionTM射频放弧探测器
ADC100直流放弧探测器
FabGuardTM传感器整合分析系统
Quantus LP100低压气体光谱分析仪
Quantus HP100高压气体光谱分析仪
色谱仪
CMS5000在线监测系统
INFICON Micro GC Fusion微型气相色谱仪
质谱检测分析仪
残余气体分析仪(RGAs)
Hapsite ER便携式气质联用仪
测厚仪
XTC/3薄膜镀层控制仪
其他
D-TEK Select冷媒检漏仪
联系方式 |
产品系列
产品描述
Bayard-Alpert 皮拉尼复合真空计
INFICON 生产的Bayard-Alpert 皮拉尼复合真空计, BPG402-S,两
种真空计集成在一个小型的单元内,测量范围从5x10-10 毫巴至大
气压(3.8x10-10 乇至大气压). 复合的技术降低了安装,设置和集成
的复杂性.在一个小型外壳内装有双敷涂钇的氧化铱灯丝的
BPG402-S 用于频繁与重复的工艺过程中测量基本压强. 带有在
机校准数据的敏感元件保证更换传感器的高度再现性.
优点
极宽的测量范围从 5x10-10 毫巴至大气压(3.8x10-10 乇至大气压)
极好的重复性,过程压强范围10-8 … 10-2 毫巴均为5%
皮拉尼连锁保护灯丝,防止过早烧毁
双敷涂钇的氧化铱长寿命灯丝
可选图形显示和现场总线接口
自动高真空皮拉尼调整,减少操作人员的干预
容易更换具有在机校准的传感元件,保证高度重复性
应 用
半导体工艺和输送室中的压强测量
工业镀膜
一般真空测量和控制,从低至超高真空范围